Иммерсионный сканер Nikon NSR-S636E ArF

На этой неделе компания Nikon объявила о разработке своего нового иммерсионного сканера NSR-S636E ArF, который предоставит ведущие в отрасли решения для литографии и позволит клиентам продвигать производство полупроводников и способствовать цифровой трансформации.

Новое поколение иммерсионных сканеров NSR-S636E ArF в настоящее время находится в стадии разработки и обеспечит превосходную точность наложения и сверхвысокую пропускную способность для поддержки производства наиболее важных полупроводниковых устройств. Ожидается, что продажи начнутся где-то в 2023 году. NSR-S636E имеет усовершенствованную встроенную станцию ​​выравнивания или iAS, которая представляет собой модуль предварительного измерения пластины, интегрированный между устройством для нанесения покрытия / проявки и литографическим сканером. S636E и iAS используют сложное многоточечное измерение и функции коррекции высокого порядка, которые позволяют производителям устройств достигать строгой точности наложения, необходимой для структур 3D-устройств, а также максимизировать производительность иммерсионного сканера. NSR-S636E хорошо подходит для производства передовых полупроводников, включая логические устройства и устройства памяти, приложения для датчиков изображения CMOS и многое другое.